Leybold: Lösungen für die TFT-Produktion

Oerlikon Leybold Vacuum offeriert eine breite, spezialisierte Palette von Vakuumpumpsystemen mit entsprechendem Zubehör für Beschichtungsanwendungen, wie der Produktion von Flachbildschirmen.

Oerlikon Leybold Vacuum ist führend in der Entwicklung von kompletten Vakuumlösungen für alle Beschichtungsanwendungen. Die Expertise und das Verständnis für die technischen Erfordernisse der Kundenapplikationen unterstützen die Geschäftsziele der Kunden.

Das Ergebnis dieser langjährigen Erfahrung ist eine optimierte Palette von Standard-Komponenten mit kompakten Designs, höchsten technischen Standards und hervorragender Zuverlässigkeit. Diese platzsparenden und intelligenten Vakuum-Lösungen bestehen aus Hochvakuum, Booster / Trockenpumpenkombinationen sowie optionalen Steuergeräten. Standardisierte Systeme auf der Basis von trockenverdichtenden DRYVAC Schraubenpumpen in Kombination mit Roots-Gebläse aus der Familie der RUVAC WH sind die optimale Lösung für Flachbildschirm- Anwendungen, insbesondere bei schneller Taktung der Ladeschleusen, Transferkammern und bei Abscheidungsprozessen.

In ihren Klassen bieten sie schnellste Abpumpzeiten bei höchsten Saugvermögen. Durch die Standardisierung der Bestandteile erreicht Oerlikon Leybold Vacuum höchste Benutzerfreundlichkeit und Verfügbarkeit der Systeme.

Weitere Vorteile für die Kunden sind die standardisierten Schnittstellen aller elektrischen Verbindungen, Optionen zur Spülung und Kühlwassereinsatz, gepaart mit einem einfachen Wartungszugang und die Möglichkeit, einen bequemen und effizienten Backup-Pool für den Prozess zu etablieren.

Die klassischen Anwendungsgebiete sind:

• Schleusen und Transferkammern
• Transistor Sputter TSPT / Farbfilter Sputter FSPT / Cell
• OLED Kapselung / Evaporation
• Transistor TFT-PECVD / Dünnschicht Kapselung TFE-PECVD
• VCD Photoresistente Beschichtung

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