Präzision ist keine Haarspalterei
Messung mit bis zu 50 Pikometer Auflösung
IBS Precision Engineering präsentiert das neue hochauflösende Messsystem CPL490 für kapazitive Abstandsmessung von Lion Precision. Das berührungslos arbeitende Präzisionssystem bietet die enorme Auflösung bis zu 50 Pikometer (50 x 10-9 mm). Damit erkennt es Abweichungen, die rund ein Millionstel Mal kleiner sind als der Durchmesser eines menschlichen Haars.
Kapazitive Positionssensoren funktionieren wie ein Plattenkondensator, bei dem eine geladene Platte die Sensoroberfläche und die zweite das Messobjekt repräsentiert. Der hochsensible Sensor erfasst kleinste Kapazitätsänderungen, die sich aus einer Positionsänderung des Messobjekts relativ zum Sensor ergeben. Da er berührungslos und ohne Wärmeerzeugung am Messpunkt arbeitet, ist eine Rückwirkung oder Beschädigung des Messobjekts ausgeschlossen. Kapazitive Messfühler werden nicht durch die magnetischen Eigenschaften des Materials beeinflusst.
Das CPL490-System eignet sich ideal für die Halbleiterindustrie oder für Rundlaufmessungen von luftgelagerten Spindeln in der Ultra-Präzisions-Industrie. Mit seinen besonders feinen Messbereichen und seiner hohen Linearität ist es unentbehrlich für die Montage und Qualitätskontrolle von Präzisionsbauteilen wie Festplatten und Halbleitern.
Im Bereich der Ultra-Präzision bestimmt die Spindel als Herz einer Bearbeitungs- und Werkzeugmaschine maßgeblich die erzielbare Qualität der Produktoberfläche. Das CPL490-System ermöglicht äußerst präzise Spindelrundlaufmessungen mit einer Messunsicherheit im Pikometerbereich.
Der speziell für das CPL490 entwickelte Sensor der zweiten Generation (2G) ist für die Messbereiche 10 μm, 50 μm und 100 μm erhältlich. Er erzielt die maximale Auflösung von 0,05 nm (= 50 Pikometer) mit dem Messbereich 10 μm bei der Bandbreite von 1 kHz.
Optional erhältliche Software-Treiber für LabVIEW von National Instruments ermöglichen eine Fernauswahl von Empfindlichkeit und Frequenz. Die Ausgangssignale werden sowohl über einen BNC-Stecker an der Frontblende, als auch über einen 68-pin NI-Anschluss auf der Rückseite des Gehäuses ausgegeben. IBS Precision Engineering liefert auf Anfrage auch vakuumgeeignete Sensoren (UHV) sowie kundenspezifische Bauformen und -größen für Spezialanwendungen.
Mehr Informationen zur IBS Deutschland GmbH:
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IBS Precision Engineering Deutschland GmbH |
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Leitzstraße 45 |
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70469 Stuttgart |
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Telephone: +49 (0)711 490 66 230 |
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