Welt der Fertigung
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Höchstleistung im Hochvakuum

Vakuum-Eckventil mit Belüftungsfunktion

Das neue Hochvakuum-Eckventil der Serie XLJ von SMC steigert Sicherheit und Produktivität – dank robustem Aluminiumgehäuse und Features wie einem Belüftungsventil: Dieses reduziert potenzielle Ölprobleme und Ausfallzeiten auf ein Minimum und sorgt so für einen effizienteren Betrieb des gesamten Vakuumsystems.

Wie von all seinen Hochvakuum-Ventilen gewohnt, setzt SMC auch bei der Serie XLJ auf die Kombination aus einem widerstandsfähigen Aluminiumgehäuse und leistungssteigernden Funktionen. Davon profitieren Vakuumsysteme in vielen Industriezweigen, etwa Halbleiterfertigungs-, Beschichtungs- oder Gefriertrocknungsanlagen. Dort und in weiteren Bereichen trägt es dazu bei, in Vakuumkammern einen möglichst molekülfreien Raum bzw. ein Hochvakuum zu erzeugen. Die minimale Ausgasung des Aluminiumgehäuses verkürzt dabei die Zeit, bis dieser Zustand erreicht ist (Evakuierung), oder ermöglicht den Einsatz einer Vakuumpumpe mit geringerer Leistung. Das schont sowohl wertvolle Zeit- als auch Werkstoffressourcen.

Außen robust, innen produktiv

Darüber hinaus steigert ein angebautes Belüftungsventil die Effizienz des jeweiligen Vakuumsystems: Ist das Ventil während der Evakuierung bzw. im Normalbetrieb des Systems noch geschlossen, öffnet es sich bei ausgeschalteter Pumpe oder einem Netzausfall und bringt den Druck im Pumpeninneren wieder auf atmosphärisches Niveau. So wird verhindert, dass Hydrauliköl in die Vakuumkammer fließt. Positive Effekte: Reduzierte Ausfallzeiten und damit ein effizienterer Systembetrieb, der etwa Schweißmaschinen produktiver und Elektronenmikroskope leistungsfähiger macht.

Dank elektrischer Ansteuerung geht der Einsatz des Hochvakuum-Eckventils mit einer verbesserten Installationsflexibilität einher, während das bereits angebaute Belüftungsventil den Montageaufwand erspart. Zudem profitieren Nutzer der Serie XLJ von weiteren Vorzügen des Aluminiumgehäuses: Dazu gehören ein niedrigeres Gewicht, eine hohe Korrosionsbeständigkeit gegenüber aggressiven Medien wie Fluorgas sowie eine exzellente Wärmeleitfähigkeit. Letztere sorgt für eine homogene Temperaturverteilung im Ventilinneren, was die Ablagerung von Prozessgasen deutlich reduziert.

Außerdem verzichtet das Ventilgehäuse gänzlich auf Schwermetalle wie Nickel oder Chrom. Das minimiert die Verunreinigung berührender Medien und optimiert beispielsweise die Qualität von Endprodukten, die durch Schwermetalle kontaminiert werden könnten (z. B. Halbleiterelemente).

Hochvakuum-Systeme profitieren in vielen Branchen

Die vielfältigen Vorteile, des neuen Hochvakuum-Eckventils mit Belüftungsfunktion, eröffnen Einsatzmöglichkeiten in zahlreichen Industrien. So kommt die Serie XLJ unter anderem in Vorprozessen auf dem Gebiet der Halbleiterindustrie zum Einsatz, bspw. bei Ätz-, Plasmaätz-, Sputter- oder CVD-Anlagen.

Daneben spielt es seine Stärken in der Lebensmittelindustrie aus, steigert dort die Produktivität – etwa von Gefriertrocknungsanlagen – und sorgt im Bereich Medizintechnik für einen präziseren Durchblick bei Elektronenmikroskopen. Daneben wird es in Sauerstoffreduzierungs-Anlagen, Vakuumfiltersystemen oder vakuumisolierter Ausrüstung eingesetzt.

Auch in der Automobilindustrie punktet es auf dem Feld Produktion, so beispielsweise bei Aluminium-Beschichtungsanlagen für Scheinwerfer, in Elektrostrahlschweißmaschinen oder Leckanzeigern/-testern. Die Serie XLJ verhilft demnach Hochvakuumsystemen in zahlreichen Industrien zu mehr Leistungsstärke – und optimiert deren Prozesssicherheit und Produktivität.

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