Industrielle Dünnschichtfertigung
Industrielle Dünnschichtfertigung macht´s möglich
Die Dünnschichtfertigung hat in den letzten zehn Jahren erhebliche Leistungssprünge gemacht, ebenso wie die Fortschritte bei Ausgangsleistung und Stabilität in der Excimer-Lasertechnologie.
Unter den Herstellungsmethoden für industrielle großflächige Dünnschichten steht heute die gepulste Laserabscheidung (PLD) hinsichtlich der erreichbaren Produktionsqualität und -kapazität an vorderster Front. Mit ihr lassen sich diamantartige Hartschichten, piezoaktive Filme oder supraleitende Schichten erzeugen. Geeignete Strahlführungskonzepte bei der gepulsten Laserdeposition setzen die volle Produktionskapazität leistungsstarker UV-Excimerlaser, wie des neuesten Coherent LEAP-Lasers frei und ebnen den Weg für die wirtschaftliche Herstellung großflächiger Dünnschichten.
Der Coherent LEAP Excimer-Laser mit stabilisierter Ausgangsleistung von bis zu 300 W, bietet die perfekte Balance zwischen reduzierter Investition und verlängerten Wartungszyklen für die gepulste Laserabscheidung mit hohem Durchsatz. Aufgrund seiner innovativen Plattform bietet LEAP einen wirtschaftlichen Zugang sowohl zur UV-Präzision als auch zur UV-Leistung, die von kostensensitiven Märkten für großvolumige Dünnfilme gefordert werden.
Die überlegene Strahlhomogenität von LEAP zusammen mit einer unübertroffenen Pulsenergiestabilität (typ. 0,5 %, sigma) gewährleisten genaue und reproduzierbare Dünnschichtabscheidungsergebnisse selbst für chemisch komplexe Schichten. Bei einer typischen Lebensdauer der Laserentladungseinheit von zehn Milliarden Schuss kann das System mit geringfügigen Wartungsmaßnahmen wie automatisierten Gasfüllungen und menügeführtem Fensteraustausch je nach Betriebsintensität bis zu nfünf Jahre betrieben werden.
Der Vorteil für den Hersteller ist höchste Produktivität bei anspruchsvollen Dünnschichtanwendungen mit großen Batchlängen oder Stückzahlen, wie z.B. bei der Herstellung supraleitender Bänder sowie beschichteter Wafer oder Panels. LEAP-Excimerlaser von Coherent sind heute bei allen großen PLD-Herstellern in der Massenproduktion dünner Schichten im Dreischichtbetrieb im Einsatz.Hochentwickelte funktionale Dünnschichten für High-Tech-Anwendungen werden zunehmend zum industriellen Innovationstreiber. Der Coherent LEAP spielt hierbei die zentrale Rolle.
Mehr Informationen zu Coherent:
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Coherent Shared Services B.V. |
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Dieselstr. 5b |
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64807 Dieburg |
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Tel.: 06071 – 968 – 0 |
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E-Mail: sales.germany@coherent.com |
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www.coherent.de |
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